FFlow-6 流量計/コントローラーからの全て障害メッセージは、インターフェイスサーバーGate-6（追加のZV機器を使用）、TThermo-6 温度調節機、または別のシステム（機械制御など）に送信されます。

ID誤動作考えられる原因
Exxx出口のセンサーの欠陥 x
  • X531ケーブルが外れている、ケーブルが壊れている、またはケーブルとDFM-61流量測定ボード間の接触が不十分ですか？
  • 温度センサーが故障していますか？
  • DFM-61 流量測定ボードに障害がありますか?
Exxx戻り口センサーの欠陥 x
  • x540.x ケーブルが外れている、ケーブルが壊れている、またはケーブルと DFM-61/ZFM-61 流量測定ボード間の接触が不十分ですか？ (サーク1.. 4 → DFM-61 と 5.. 8 → ZFM-61)
  • 温度センサーが故障していますか？
  • DFM-61/ZFM-61 流量測定ボードに欠陥がありますか？ (サーク1.. 4 → DFM-61 と 5.. 8 → ZFM-61)
E9xx圧力センサーのセンサーの欠陥 BP 2
  • X532.1ケーブルが外れている、ケーブルが壊れている、またはケーブルとDFM-61流量測定ボード間の接触が不十分ですか？
  • BP 1 圧力センサーが故障していますか？
  • DFM-61 流量測定ボードに障害がありますか?
Exxx圧力センサーのセンサーの欠陥 BP 4
  • X532.2ケーブルが外れている、ケーブルが壊れている、またはケーブルとDFM-61流量測定ボード間の接触が不十分ですか？
  • BP 2 圧力センサーが故障していますか？
  • DFM-61 流量測定ボードに障害がありますか?
Exxx上部の円での温度偏差 x
  • 限界値 (上限目標/実績偏差) の設定が低すぎますか?
  • コントロールバルブが十分に開いていませんか？
Exxx円 x 底部の温度偏差
  • 限界値 (目標分散/実績差異の低下) の設定が高すぎますか?
  • コントロールバルブが開きすぎましたか？
Exxxリターンと出力の違い円 x
  • 流量が少なすぎます。ますか？
  • リミット値 (バック/フォワード差) の設定が低すぎますか?
  • コントロールバルブが十分に開いていませんか？
  • 伝熱工具の形状が悪い？
Exxx流量が多すぎます。円 x
  • 制限値 (最大流量) の設定が低すぎますか?
  • コントロールバルブが開きすぎましたか？
Exxx流量が少なすぎます。円 x
  • 循環器が詰まっている？
  • 制限値 (最大流量) の設定が高すぎますか?
  • コントロールバルブが十分に開いていませんか？
Exxx上流偏差円 x
  • 限界値 (上限目標/実績偏差) の設定が低すぎますか?
  • コントロールバルブが開きすぎましたか？
Exxx円 x 低流量偏差
  • 循環器が詰まっている？
  • 制限値 (目標分散/実績差異の低下) の設定が低すぎますか?
  • コントロールバルブが十分に開いていませんか？
ExxxFlow-6 通信エラー
  • コントロールケーブルが接続されていますか?
  • コントロールケーブルが故障している？
  • DFM-61 流量測定ボードに障害がありますか?
  • GAT-61/USR-61 コントロールボードに障害がありますか?
Exxx過電流制御バルブ RV 1.x
  • M 10.xステッピングモーターが故障しています（短絡）？
  • DFM-61/ZFM-61 流量測定ボードに欠陥がありますか？ (サーク1.. 4 → DFM-61 と 5.. 8 → ZFM-61)
ExxxRV 1.x 最小電流コントロールバルブ
  • ケーブルX540.xが外れている、ケーブルが壊れている、またはケーブルとDFM-61/ZFM-61流量測定ボード間の接触不良に障害がありますか？ (サーク1.. 4 → DFM-61 と 5.. 8 → ZFM-61)
  • 10.xステッピングモーターが故障していますか？
  • DFM-61/ZFM-61 流量測定ボードに欠陥がありますか？
Exxx過電流遮断バルブ AV 2、AV 3
  • M 11またはM 12ステッピングモーターが故障している（短絡）？
  • ZVB-61 拡張ボードに障害がありますか?
Exxx最小電流・シャットオフ・バルブ AV 2、AV 3
  • X552/X553ケーブルが外れている、ケーブルが壊れている、またはケーブルとZVB-61拡張ボード間の接触不良に問題がありますか？
  • M 11またはM12ステッピングモーターが故障していますか？
  • ZVB-61 拡張ボードに障害がありますか?
Exxxバルブが認識されない
  • YV 4/YV YV 5 11 ソレノイドコイルが故障していますか？
  • X551 ケーブルが故障していますか?
  • ZVB-61 拡張ボードに障害がありますか?