Flow-6 유량계/컨트롤러의 전체 오류 메시지는 Gate-6 인터페이스 서버 (추가 ZV 장비 포함) 또는 Thermo-6 온도 제어 장치 또는 다른 시스템 (예: 기계 제어) 으로 전송됩니다.

ID오작동가능한 원인
Exxx센서 고장 흐름 x
  • X531 케이블이 뽑혔거나, 케이블이 끊겼거나, 케이블과 DFM-61 유량 측정 보드 사이의 접촉 불량이 있습니까? DFM-61
  • 온도 센서에 결함이 있습니까?
  • DFM-61 유량 측정 보드에 결함이 있습니까? DFM-61
Exxx고장 센서 역류 x
  • X540.x 케이블이 뽑혔거나, 케이블이 끊겼거나, 케이블과 DFM-61/ZFM-61 유량 측정 보드 사이의 접촉 불량이 있습니까? (서클 1.4 → DFM-61 및 5.8 → ZFM-61)
     DFM-61
  • 온도 센서에 결함이 있습니까?
  • DFM-61/ ZFM-61 유량 측정 보드에 결함이 있습니까? (서클 1.4 → DFM-61 및 5.8 → ZFM-61)
    DFM-61
E9xx센서 고장 압력 센서 BP 2
  • X532.1 케이블이 분리되었거나 케이블이 끊어졌거나 케이블과 DFM-61 유량 측정 보드 사이의 접촉 불량이 있습니까? DFM-61
  • BP 1 압력 센서에 결함이 있습니까?
  • DFM-61 유량 측정 보드에 결함이 있습니까? DFM-61
Exxx센서 고장 압력 센서 BP 4
  • X532.2 케이블이 분리되었거나 케이블이 끊어졌거나 케이블과 DFM-61 유량 측정 보드 사이의 접촉 불량이 있습니까? DFM-61
  • BP 2 압력 센서에 결함이 있습니까?
  • DFM-61 유량 측정 보드에 결함이 있습니까? DFM-61
Exxx상단 원의 온도 편차 x
  • 한계 값 (목표 상한/실제 편차) 이 너무 낮게 설정되었습니까?
  • 컨트롤 판막이 충분히 열리지 않았나요?
Exxx원 하단의 온도 편차 x
  • 한계 값 (목표값 하한/실제 편차) 이 너무 높게 설정되었습니까?
  • 컨트롤 판막이 너무 많이 열렸나요?
엑스백/포워드 디퍼런스 서클 x
  • 유량이 너무 적습니까?
  • 제한 값 (역/방향 차이) 이 너무 낮게 설정되었습니까?
  • 컨트롤 판막이 충분히 열리지 않았나요?
  • 열전달 공구 모양이 안 좋나요?
엑시엑스유량이 너무 많음 서클 x
  • 제한 값 (최대 유량) 이 너무 낮게 설정되었습니까?
  • 컨트롤 판막이 너무 많이 열렸나요?
엑스유량이 너무 적음 원 x
  • 순환기가 막혔나요?
  • 제한 값 (최소 유량) 이 너무 높게 설정되었습니까?
  • 컨트롤 판막이 충분히 열리지 않았나요?
Exxx상부 유량|써클 x
  • 한계 값 (목표 상한/실제 편차) 이 너무 낮게 설정되었습니까?
  • 컨트롤 판막이 너무 많이 열렸나요?
엑스원 x 아래의 하부 유량차
  • 순환기가 막혔나요?
  • 한계 값 (목표값 하한/실제 편차) 이 너무 낮게 설정되었습니까?
  • 컨트롤 판막이 충분히 열리지 않았나요?
ExxxFlow-6 통신 방법 오류
  • 제어 케이블이 연결되었나요?
  • 제어 케이블에 결함이 있나요?
  • DFM-61 유량 측정 보드에 결함이 있습니까? DFM-61
  • GAT-61/USR-61 컨트롤 보드에 결함이 있나요?
엑스과전류 제어 밸브 RV 1.x
  • M 10.x 스테퍼 모터에 결함이 있습니까 (단락)?
  • DFM-61/ZFM-61 유량 측정 보드에 결함이 있습니까? (서클 1.4 → DFM-61 및 5.8 → ZFM-61) DFM-61
ExxxRV 1.x 부족전류 제어 판막
  • 케이블 X540.x의 플러그를 뽑았거나 케이블이 끊어졌거나 케이블과 DFM-61/ZFM-61 유량 측정 보드 사이의 접촉 불량에 결함이 있습니까? (서클 1.4 → DFM-61 및 5.8 → ZFM-61) DFM-61
  • M 10.x 스테퍼 모터에 결함이 있습니까?
  • DFM-61/ZFM-61 유량 측정 보드에 결함이 있습니까?
엑스과전류 차단 밸브 AV 2, AV 3
  • M 11 또는 M 12 스테퍼 모터에 결함이 있습니까 (단락)?
  • ZVB-61 확장 보드에 결함이 있나요?
Exxx부족전류 차단 밸브 AV 2, AV 3
  • X552/X553 케이블이 분리되었거나 케이블이 끊어졌거나 케이블과 ZVB-61 확장 보드 사이의 접촉 불량에 결함이 있습니까?
  • M 11 또는 M 12 스테퍼 모터에 결함이 있습니까?
  • ZVB-61 확장 보드에 결함이 있나요?
엑스밸브가 인식되지 않음
  • YV 4/YV 5 11 솔레노이드 코일에 결함이 있습니까?
  • X551 케이블에 결함이 있나요?
  • ZVB-61 확장 보드에 결함이 있나요?